[发明专利]铁电场效晶体管装置在审
| 申请号： | 202210322710.0 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114975617A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 林柏廷;廖崧甫;黄彦杰;陈海清;林佑明;林仲德 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电场 晶体管 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种铁电场效晶体管装置，包括：
一栅极电极；
一半导体通道层；
一栅极介电材料，包括位在上述栅极电极和上述半导体通道层之间的一铁电材料层，其中上述铁电材料层包括7nm或更大的平均晶粒尺寸；
一源极电极，接触上述半导体通道层；以及
一漏极电极，接触上述半导体通道层。
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