[发明专利]一种制备锌组分可调且分布均匀的碲锌镉衬底的方法有效
| 申请号： | 202210318337.1 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114753008B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 范叶霞;刘江高;李乾;李振兴;折伟林;王丛 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | C30B29/48 | 分类号： | C30B29/48;C30B19/12;C30B19/10;C30B33/02 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 张然 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备锌组分可调且分布均匀的碲锌镉衬底的方法，本发明是采用真空高温热处理温场与源控制的衬底高温热处理工艺，并与衬底磨抛工艺相结合的设计，来实现碲锌镉衬底中Zn组分的成分设计和组分均匀性分布，从而有效解决现有碲锌镉衬底中Zn组分被动选择性即不可设计性和组分分布不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 组分 可调 分布 均匀 碲锌镉 衬底 方法 | ||
【主权项】：
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