[发明专利]一种扫描探针更换装置、探针更换方法在审
| 申请号： | 202210318211.4 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114924097A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 陈庚亮;胡思豫;高昊霖;方正炜;陈锦波;尚夏雪 | 申请（专利权）人： | 深圳明锐仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/00 | 分类号： | G01Q30/00;G01Q60/16;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 胡振 |
| 地址： | 518116 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描探针更换装置、探针更换方法，扫描探针更换装置包括探针安装部件，所述探针安装部件的顶面设置有第一吸附件，探针安装部件顶面设置有定位槽；基座，所述基座上设置有多个工作位置，探针安装部件能够安装于工作位置，基座上设置有移动件，移动件上设置有第一限位结构，第一限位结构凸出于移动件的侧面，移动件设置于基座的相对两侧。本发明中，多个探针安装部件安装在基座的多个工作位置，第一限位结构能够防止探针安装部件从基座上脱落，扫描探针成像设备进行探针安装时，两个移动件相互远离，探针安装部件能够通过第一吸附件安装到扫描探针成像设备上，并通过定位槽进行探针安装部件的定位，便于探针安装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 更换 装置 方法 | ||
【主权项】：
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