[发明专利]一种扫描探针更换装置、探针更换方法

说明书

本发明公开了一种扫描探针更换装置、探针更换方法，扫描探针更换装置包括探针安装部件，所述探针安装部件的顶面设置有第一吸附件，探针安装部件顶面设置有定位槽；基座，所述基座上设置有多个工作位置，探针安装部件能够安装于工作位置，基座上设置有移动件，移动件上设置有第一限位结构，第一限位结构凸出于移动件的侧面，移动件设置于基座的相对两侧。本发明中，多个探针安装部件安装在基座的多个工作位置，第一限位结构能够防止探针安装部件从基座上脱落，扫描探针成像设备进行探针安装时，两个移动件相互远离，探针安装部件能够通过第一吸附件安装到扫描探针成像设备上，并通过定位槽进行探针安装部件的定位，便于探针安装。

技术领域

本发明涉及显微设备技术领域，特别涉及一种扫描探针更换装置、探针更换方法。

背景技术

扫描探针成像设备主要分为原子力显微镜和扫描隧道电流显微镜，基本的组成包括光学系统、悬臂梁探针、反馈控制器以及样品扫描平台。扫描探针作为一种精密传感器，在整个系统中扮演非常重要的作用，在目前的原子力显微镜、扫描隧道电流显微镜当中，由于扫描探针作为一种损耗品，寿命较短，同时扫描探针放置的定位要求很精密，因此其更换方式基本为人工操作，需要非常有经验的操作人员才能完成此操作。人工将扫描探针装夹到探针夹的过程良率较低，同时探针夹装载过程需要停机操作，降低了工作效率，同时在工业精密检测中，人工操作不符合标准化生产的要求。

发明内容

为解决上述技术问题中的至少之一，本发明提供一种扫描探针更换装置、探针更换方法，所采用的技术方案如下：

本发明提供一种扫描探针更换装置，包括：

探针安装部件，所述探针安装部件的顶面设置有第一吸附件，所述探针安装部件顶面设置有定位槽；基座，所述基座上设置有多个工作位置，所述探针安装部件能够安装于所述工作位置，所述基座上设置有移动件，所述移动件上设置有第一限位结构，所述第一限位结构凸出于所述移动件的侧面，所述移动件设置两个，两个所述移动件设置于所述基座的相对两侧。

本发明的实施例至少具有以下有益效果：本发明中，多个探针安装部件安装在基座的多个工作位置上，第一限位结构能够防止探针安装部件从基座上脱落，扫描探针成像设备进行探针安装时，两个移动件相互远离，移动件带动第一限位结构脱离探针安装部件的范围，探针安装部件能够通过第一吸附件安装到扫描探针成像设备上，并通过定位槽进行探针安装部件的定位，便于探针安装。

本发明的某些实施例中，所述探针安装部件底面设置有第一定位结构，各所述工作位置底部设置有第二定位结构，所述第一定位结构能够安装在所述第二定位结构上。

本发明的某些实施例中，所述基座上设置有第一电机、传动件，所述第一电机的输出轴连接所述传动件，所述传动件连接所述移动件，所述第一电机通过所述传动件控制两个所述移动件相互靠近或远离。

本发明的某些实施例中，所述传动件包括主动部，所述主动部包括联轴器、第二曲柄，所述第一电机的输出轴连接所述联轴器，所述联轴器上铰接两个所述第二曲柄，两个所述第二曲柄分别连接两个所述移动件。

本发明的某些实施例中，所述传动件还包括一个或多个从动部，各所述从动部包括第一曲柄、第三曲柄，所述第一曲柄上铰接两个所述第三曲柄，两个所述第三曲柄分别连接两个所述移动件。

本发明的某些实施例中，所述传动件还包括连接杆，所述联轴器、所述第一曲柄分别与所述连接杆铰接，所述连接杆设置有两个，所述连接杆与所述第一曲柄形成平行四边形结构。

本发明的某些实施例中，所述扫描探针更换装置还包括移动组件，所述移动组件能够驱动所述基座或扫描探针成像设备移动。