[发明专利]一种扫描探针更换装置、探针更换方法

权利要求书

1.一种扫描探针更换装置，其特征在于，包括：

探针安装部件(100)，所述探针安装部件(100)的顶面设置有第一吸附件(102)，所述探针安装部件(100)顶面设置有定位槽(103)；

基座(300)，所述基座(300)上设置有多个工作位置(301)，所述探针安装部件(100)能够安装于所述工作位置(301)，所述基座(300)上设置有移动件(303)，所述移动件(303)上设置有第一限位结构(304)，所述第一限位结构(304)凸出于所述移动件(303)的侧面，所述移动件(303)设置两个，两个所述移动件(303)设置于所述基座(300)的相对两侧。

2.根据权利要求1所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述探针安装部件(100)底面设置有第一定位结构(105)，各所述工作位置(301)底部设置有第二定位结构(302)，所述第一定位结构(105)能够安装在所述第二定位结构(302)上。

3.根据权利要求1所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述基座(300)上设置有第一电机、传动件，所述第一电机的输出轴连接所述传动件，所述传动件连接所述移动件(303)，所述第一电机通过所述传动件控制两个所述移动件(303)相互靠近或远离。

4.根据权利要求3所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述传动件包括主动部，所述主动部包括联轴器(305)、第二曲柄(306)，所述第一电机的输出轴连接所述联轴器(305)，所述联轴器(305)上铰接两个所述第二曲柄(306)，两个所述第二曲柄(306)分别连接两个所述移动件(303)。

5.根据权利要求4所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述传动件还包括一个或多个从动部，各所述从动部包括第一曲柄(307)、第三曲柄(310)，所述第一曲柄(307)上铰接两个所述第三曲柄(310)，两个所述第三曲柄(310)分别连接两个所述移动件(303)。

6.根据权利要求5所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述传动件还包括连接杆(308)，所述联轴器(305)、所述第一曲柄(307)分别与所述连接杆(308)铰接，所述连接杆(308)设置有两个，所述连接杆(308)与所述第一曲柄(307)形成平行四边形结构。

7.根据权利要求1所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述扫描探针更换装置还包括移动组件，所述移动组件能够驱动基座(300)或扫描探针成像设备移动。

8.根据权利要求1所述的扫描探针更换装置，其特征在于，扫描探针更换装置还包括固定座(200)，所述固定座(200)顶面用于连接扫描探针成像设备，所述固定座(200)底面用于连接所述探针安装部件(100)，所述固定座(200)底面设置有第二吸附件(201)，所述第二吸附件(201)能够与所述第一吸附件(102)吸附，所述固定座(200)底面设置有凸出部(202)，所述凸出部(202)能够安装在所述定位槽(103)上。

9.根据权利要求1所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述探针安装部件(100)顶面边缘设置有第二限位结构(106)，通过所述移动件(303)的运动，所述第一限位结构(304)能够安装在所述第二限位结构(106)上。

10.探针更换方法，其特征在于：

系统初始化；

扫描探针成像设备的扫描头装配固定座；

移动组件驱动扫描探针成像设备或基座进行定位；

扫描头向下贴近探针安装部件；

第一限位结构打开，固定座磁力吸附探针安装部件；

扫描头上升，第一限位结构对探针安装部件限位；

扫描头移至工作区；

移动组件收到更换探针指令，移动组件驱动扫描探针成像设备或基座进行定位；

第一限位结构打开，释放探针；

移动组件使扫描头对准其他工作位置进行取针。