[发明专利]蒸镀装置及显示面板的制作方法在审
| 申请号： | 202210297415.4 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN114875363A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 曾辉 | 申请（专利权）人： | 广州华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 肖珍 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄埔区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀装置及显示面板的制作方法。其包括第一蒸镀腔室、传送轨道以及面板传送机构；第一蒸镀腔室包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于第一底面和第一顶面之间的第一侧面；传送轨道通过第一蒸镀腔室；面板传送机构包括承载件，承载件可移动地连接于传送轨道上并用于承载面板，承载件处于第一状态，以使面板的蒸镀面垂直于第一底面，承载件处于第二状态，以使面板的蒸镀面与第一底面之间的夹角大于90°或小于90°，至少当承载件移动至第一蒸镀腔室内时，承载件处于第一状态，且蒸镀面与第一侧面相平行且相对设置。本发明可以减少面板进行蒸镀时占用的水平面积，以减少第一蒸镀腔室的占地面积，节省空间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 显示 面板 制作方法 | ||
【主权项】：
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