[发明专利]蒸镀装置及显示面板的制作方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

第一蒸镀腔室，包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于所述第一底面和所述第一顶面之间的第一侧面和至少一第二侧面，所述第一蒸镀腔室还包括设置于所述第一侧面上的蒸镀件、设置于至少一所述第二侧面上的第一入口以及第一出口；

传送轨道，穿过所述第一入口以及所述第一出口，以使所述传送轨道通过所述第一蒸镀腔室；

面板传送机构，包括承载件以及旋转件，所述承载件可移动地连接于所述传送轨道上并用于承载面板，所述旋转件驱动所述承载件在第一状态与第二状态之间进行切换，所述承载件处于所述第一状态，以使所述面板的蒸镀面垂直于所述第一底面，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面与所述第一底面之间的夹角大于90°或小于90°，至少当所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第一侧面相对设置。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括第一往复轨道，所述第一往复轨设置于所述传送轨道的一侧并用于传送第一掩膜板，且当所述第一掩膜板置于所述第一往复轨道上时，所述第一掩膜板垂直于所述第一底面。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一入口一侧的第一组装机构以及设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一出口一侧的第一分离机构，所述传送方向为所述传送轨道由所述第一入口指向所述第一出口的方向，所述传送轨道穿过所述第一组装机构以及所述第一分离机构，所述第一往复轨道连接于所述第一组装机构和所述第一分离机构之间，以使得所述面板与所述第一掩膜板在所述第一组装机构内对位贴合，在所述第一分离机构内分离。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，当所述承载件移动至所述第一组装机构以及所述第一分离机构内时，所述承载件处于所述第一状态。

5.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一组装机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的面板放置机构以及所述第一分离机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的功能腔室，且所述传送轨道穿过所述面板放置机构和所述功能腔室，当所述承载件位于所述面板放置机构内和所述功能腔室内时，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面平行于所述第一底面。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述传送轨道为闭合环路轨道，且所述承载件沿所述传送方向在所述闭合环路轨道上进行移动。

7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述功能腔室远离所述第一分离机构一侧的第二蒸镀腔室，所述第二蒸镀腔室包括相对设置的第二底面和第二顶面、以及连接于所述第二底面和所述第二顶面之间的第三侧面和至少一第四侧面，所述第二蒸镀腔室还包括设置于所述第三侧面上的第二蒸镀件、设置于至少一所述第四侧面上的第二入口以及第二出口；

其中，所述传送轨道穿过所述第二入口以及所述第二出口，以使所述传送轨道通过所述第二蒸镀腔室，当所述承载件位于所述第二蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第三侧面相对设置。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第二蒸镀腔室和所述功能腔室之间的第二组装机构以及设置于所述第二蒸镀腔室和所述面板放置机构之间的第二分离机构；

其中，所述蒸镀装置还包括设置于所述传送轨道一侧并连接于所述第二组装机构和所述第二分离机构之间的第二往复轨道，所述第二往复轨道用于传送第二掩膜板，且当所述第二掩膜板置于所述第二往复轨道上时，所述第二掩膜板垂直于所述第二底面。