[发明专利]一种用于氟化物多晶原料处理装置及方法在审
| 申请号： | 202210267311.9 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114622279A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 刘景峰 | 申请（专利权）人： | 四川奇峰景行光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/12 | 分类号： | C30B29/12;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 樊炳章 |
| 地址： | 620866 四川省眉山市彭山区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于氟化物多晶原料处理装置包括：炉膛和炉壁，炉膛内设置有坩埚，坩埚内放置氟化物多晶原料，坩埚开口处设置有排气结构，坩埚底部设置有进气结构用于气体进入坩埚内与氟化物多晶原料中，经过坩埚外面设置的加热器给坩埚加热反应将氟化物多晶体原料中的水与注入的气体反应从而减少氟化物多晶体原料的水含量少。本发明还提供了一种利用以上装置对氟化物多晶原料的处理方法，使用多次加温使使氟化物多晶原料与四氟化碳反应排出水。恒温结束后降到室温后取出作为氟化物单晶生长的多晶原料。通过对氟化物原料的处理，晶体生长后晶体表面比较光滑，晶体的紫外区间透过率比较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氟化物 多晶 原料 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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