[发明专利]一种CdSn合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202210256265.2 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN114657423B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 余飞;江佩庭;黄宇彬;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C22C20/00 | 分类号： | C22C20/00;C22C1/02;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈静 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种CdSn合金靶材及其制备方法，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的CdSn合金靶材，包括如下重量份数的组分：Cd 60‑70份和Sn30‑40份，其中，Cd和Sn的纯度≥4N。本发明提供的CdSn合金靶材中Cd及Sn组分分布均匀，靶材微观组织均匀，内部无孔洞裂纹缺陷，致密度达到99％以上，并且靶材与背管绑定率大于95％；该靶材在氩气和氧气气氛下，通过一定溅射及热处理工艺，可以制备锡酸镉薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cdsn 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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