[发明专利]一种CdSn合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种CdSn合金靶材的制备方法，其特征在于，所述CdSn合金靶材包括如下重量份数的组分：Cd 60-70份和Sn30-40份，其中，Cd和Sn的纯度≥4N；

所述CdSn合金靶材的制备方法包括如下步骤：

（1）将Cd锭与Sn锭按比例混合后熔融得到熔融合金物料；

（2）将所述熔融合金物料浇注至经预热处理后的模具腔体中；

（3）浇注结束后进行保温处理；

（4）对所述模具腔体进行冷却至熔融合金物料完全凝固，脱模得到所述CdSn合金靶材；

所述步骤（1）中的熔融温度与所述步骤（2）中的浇注温度相同，为280-380℃；

所述步骤（2）中的模具腔体的制备方法包括如下步骤：将待浇注的空白靶材作为模具组件的内衬背管，在所述空白靶材的表面涂布In、Sn混合料，将所述内衬背管与安装在所述内衬背管上下端的背管延长件链接，并将所述背管延长件与背管外模通过底座链接，得到所述模具腔体，其中，所述In、Sn混合料中In、Sn的质量比为1:1；

所述步骤（3）中的保温处理温度为230-330℃，保温处理的时间为10-30min；

所述步骤（4）中的冷却速率为40-60℃/min。

2.如权利要求1所述的CdSn合金靶材的制备方法，其特征在于，所述CdSn合金靶材包括如下重量份数的组分：Cd 65.44份和Sn34.56份。

3.如权利要求1所述的CdSn合金靶材的制备方法，其特征在于，所述熔融温度为320-340℃。

4.如权利要求1所述的CdSn合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中的冷却速率为55 ℃ /min。

5.如权利要求1所述的CdSn合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中的模具腔体的预热温度为160-190 ℃ 。