[发明专利]自动轮换式太阳能电池制备用氧化硅膜成型机在审
| 申请号： | 202210218473.3 | 申请日： | 2022-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN114695219A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 桑利安 | 申请（专利权）人： | 桑利安 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种自动轮换式太阳能电池制备用氧化硅膜成型机。技术问题为：人工取放耗费大量时间，生产效率随之降低，并且氢气会形成气泡聚集在硅片的下表面，气泡的存在会影响到硅片与反应液的充分反应。技术方案为：一种自动轮换式太阳能电池制备用氧化硅膜成型机，包括有反应箱和支撑架等；反应箱左方设置有支撑架。本发明实现了对硅片的自动轮换，使下一块硅片快速替换到反应位置，提高整体生产效率，并且将形成的硅片下表面的气泡驱散，使得硅片的反应不会受到气泡影响，同时将散开的气泡聚拢刺破，使反应液内不会留存过多气泡，避免气泡的存在影响到二氧化钛粒子的分散状态。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 轮换 太阳能电池 制备 氧化 成型 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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