[发明专利]一种三维堆叠大功率TR气密封装组件有效
申请号: | 202210216022.6 | 申请日: | 2022-03-07 |
公开(公告)号: | CN114334865B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 阴明勇;廖洁;张奎基;冯琳;薛伟;唐耀宗;徐明昊 | 申请(专利权)人: | 成都雷电微力科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;H01L23/538;H01L25/16 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 罗强 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种三维堆叠大功率TR气密封装组件,包括依次从下至上堆叠的射频TR芯片层、电源及开关驱动层、储能电容层以及盖板,形成气密封装结构;射频TR芯片层、电源及开关驱动层、储能电容层均设有贯通各层的实心过孔,实现各层上下两侧的电气连接;各层之间通过垂直互连结构实现电气互连;射频TR芯片层下侧设有射频输入链路、射频输出链路以及电源和控制信号输入链路;上侧至少设有一个射频TR放大链路;电源及开关驱动层上侧设有电源调制电路与射频开关驱动链路;储能电容层中并联有若干储能电容。本发明解决了大功率TR芯片散热问题、减小脉冲大电流控制线路走线距离、具有更高集成度、气密性能优良、能适应大规模自动化装配。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 堆叠 大功率 tr 气密 封装 组件 | ||
【主权项】:
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