[发明专利]热式流量传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210202276.2 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN114577287A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 杨绍松;刘同庆;曹锦云;柳雪 | 申请（专利权）人： | 无锡芯感智半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 214100 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种热式流量传感器及其制作方法，所述热式流量传感器包括：上游热敏元件和下游热敏元件，分立形成在基底的表面；加热电阻，形成在基底的表面并位于上游热敏元件和下游热敏元件之间，用于通电加热上游热敏元件和下游热敏元件；通孔，沿垂直于基底的表面的方向，形成在加热电阻中，以使加热电阻形成第一电阻和第二电阻，第一电阻位于加热电阻面向上游热敏元件的一端，第二电阻位于加热电阻面向下游热敏元件的一端，第一电阻和第二电阻对称且并联。本申请可以解决现有热式流量传感器因热量扩散不均匀而影响测量精度的问题，同时可以提高传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡芯感智半导体有限公司，未经无锡芯感智半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210202276.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于处理生物液体的装置
- 下一篇：一种骨折外固定3D打印机的软化和固化装置
