[发明专利]组合薄膜制备方法及装置在审
| 申请号： | 202210155728.6 | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN115233165A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 冯中沛;金魁;袁洁;许波;赵忠贤 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/04;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了一种高效的组合薄膜制备方法及装置，包括：反应腔；以及位于反应腔内的靶台和基片台，组合薄膜制备设备还包括位于所述靶台上方的掩模板，掩模板在靶台上方形成侧壁，以隔开多个靶材中的相邻靶材溅射时所产生的羽辉，掩模板延伸至所述基片台附近，以隔开所述基片的多个沉积区域，所述掩模板和所述基片台相对移动以改变不同沉积区域的暴露沉积时间，以此控制所述多个不同靶材对应成分在所述基片不同沉积区域上的沉积物含量，从而在所述基片上形成所述多个靶材的沉积物以获得组合薄膜。本发明提供的组合薄膜制备方法及装置，降低了掩模板运动过程中引入的热扰动同时节省了更换靶材的时间，进而提高了组合薄膜的制备速率和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 薄膜 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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