[发明专利]铁电存储器单元、其制备方法及铁电存储器的布局结构

摘要

本发明提供一种铁电存储器单元、其制备方法及铁电存储器的布局结构，铁电存储器单元包括：选择晶体管，包括基底，位于基底上的栅极结构和位于栅极结构两侧的基底中的源区和漏区；沟槽型铁电电容，包括设置于漏区中的沟槽、形成于沟槽底部和侧壁下极板，形成于下极板表面的铁电电容介质层、以及位于铁电电容介质层上表面的上极板。本发明的铁电存储器单元，可以在铁电存储器单元缩小的情况下解决电容面积不足的问题，使电容容量扩大2‑4倍，极大提升单元存储性能。本发明可使寄生电容和互联电阻减小，提升铁电存储器单元性能。