[发明专利]面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构及其应用方法

摘要

本发明公开了面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构及其应用方法，架板上开有两个U型槽，形成V字型分布。采用滚轮在槽内滑动的方式，可实现调节装夹机构的开合尺寸，适应多尺寸晶圆片装夹；底部滚轮采用自转的方式，带动晶圆旋转，避免晶圆和滚轮接触地方存在死角，无法彻底进行清洗干燥。本发明相较于传统的三爪定位装置，体现了其可装夹不同规格的晶圆的优点，避免了因加工不同尺寸晶圆片需要频繁更换夹具导致效率不高，同时也解决了晶圆清洗干燥不充分的问题。