[发明专利]面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构及其应用方法

权利要求书

1.一种面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构，其特征在于，包括支撑架、集水箱、V字型晶圆尺寸调节机构和滚轮刷传动机构；所述集水箱放置在支撑架上，所述V字型晶圆尺寸调节机构安装在集水箱内，所述滚轮刷传动机构固定在支撑架上，所述滚轮刷传动机构上设置有滚轮刷和氮气喷管；所述V字型晶圆尺寸调节机构夹持晶圆片，通过所述滚轮刷传动机构将滚轮刷运送至晶圆片两侧对晶圆进行清洗和干燥。

2.根据权利要求1所述的面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构，其特征在于，所述V字型晶圆尺寸调节机构包括架板、两根连杆和三个滚轮，所述架板左右两侧开设有U型槽，所述U型槽内设置有左滚轮和右滚轮，所述两个连杆上部通过转动销分别与左滚轮和右滚轮相连接，所述两根连杆尾部安装在同一滑块上，所述滑块通过丝杠的转动沿着导轨上下移动，从而使两个连杆带动左滚轮和右滚轮沿着U型槽内移动，将左滚轮和右滚轮拖动至准确的位置。

3.根据权利要求2所述的面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构，其特征在于，所述滑块上安装有挡板，所述导轨一侧安装有传感器。

4.根据权利要求2所述的面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构，其特征在于，所述架板上设置有电机，所述电机通过带轮装置与底部滚轮相连接，所述底部滚轮固定在架板上通过带轮装置带动进行转动。

5.根据权利要求4所述的面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构，其特征在于，所述左滚轮、右滚轮和底部滚轮成等腰三角形设置在架板上。

6.根据权利要求1所述的面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构，其特征在于，所述滚轮刷传动机构包括横向滑移机构、纵向滑移机构和滚轮刷固定架；所述横向滑移机构安装在支撑架上，所述纵向滑移机构通过滑块安装在横向调节机构上，所述纵向滑移机构安装有可滑动连接板，所述连接板与盖板相连接，所述盖板上设置有一对滑块和电机，所述滚轮刷固定架通过螺栓固定在滑块上；所述滚轮刷固定架上安装有滚轮刷，滚轮刷固定架通过电机控制进行位置移动。

7.一种面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构的应用方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1）确定V字型晶圆尺寸调节机构的导轨一侧传感器的位置，用于定位滑块位置，适应多规格晶圆片的装夹；

步骤2）V字型晶圆尺寸调节机构的丝杠旋转，带动滑块移动，左滚轮和右滚轮沿着U型槽内移动至相应规格晶圆处；晶圆放置在三个滚轮之间，滑块上的挡片与传感器配合，起到定位的作用，通过带轮装置带动底部滚轮转动，从而使得晶圆转动；

步骤3）滚轮刷传动机构将两个滚轮刷运送至晶圆片两侧，对晶圆进行洗刷清洗；

步骤4）洗刷完，热氮气通过氮气喷管的管道喷射在晶圆表面，对晶圆进行干燥。

8.根据权利要求7所述的面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构的应用方法，其特征在于，步骤1）中所述的确定导轨一侧传感器的位置具体包括以下流程：根据不同规格的晶圆尺寸绘制二维坐标轴，根据底部滚轮位置固定的特点，将坐标原点设置在底部滚轮的中心处，绘制不同晶圆直径，根据连杆的长度不变性，一端沿着U型槽的方向，一端沿着丝杠方向，也就是Y轴的方向；根据绘制不同圆，根据勾股定理理论计算，最后得到Y轴负半轴的各点，为传感器安置位置。