[发明专利]裸片密封环结构在审
| 申请号： | 202210128113.4 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN116631954A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 孙家祯;刘恩铨 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/31 | 分类号： | H01L23/31;H01L23/48;H01L23/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王锐 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种裸片密封环结构，其主要包含一金属内连线结构设于一基底上，其中金属内连线结构又细部包含一金属间介电层设于基底上以及第一金属层设于金属间介电层内。更具体而言，第一金属层的第一边于俯视角度下包含一梳状部，第一金属层的第二边包含一直线，第一金属层的第三边包含一直线，且第一金属层的第四边包含一直线。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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