[发明专利]一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备，本发明的有益效果是，复杂的工艺条件和顺序下，沉积工艺可以在多腔体中按照工艺顺序进行传递，尤其是在会产生具有毒性、高污染的物质的工艺段中，一个相对独立的腔体尤其重要，可以采用特殊的材质和安全处理工艺，并针对性的完成腔体清洁和尾气的处理，同时避免了在同一腔体中的不同工艺段产生交叉污染的风险，既节省了沉积反应的时间，又增加了安全性，并且提高了腔体和设备的使用寿命。