[发明专利]一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法在审
| 申请号： | 202210098998.8 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114279693A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 孟永宏;朱宗洋;杨良 | 申请（专利权）人： | 北京量拓科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 郑雷;庄博强 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，涉及入射角扫描的技术领域，其包括以下步骤：S1：将样品放置在样品台上；S2：测量，寻找样品的快慢轴；S3：将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，将起偏臂和检偏臂设置在同一条直线上，对样品做透射测量；S4：调整起偏臂和检偏臂之间的夹角，对样品做反射测量；S5：对样品进行旋转，改变入射角，测量透射或反射。本申请具有该系统对不同厚度的样品既可做入射角扫描的透射也可做入射角扫描的反射的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 入射角 扫描 样品 相位 延迟 测量 系统 使用方法 | ||
【主权项】：
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