[发明专利]一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法

权利要求书

1.一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：将样品放置在样品台(2)上；

S2：测量，寻找样品的快慢轴；

S3：将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，将起偏臂(1)和检偏臂(4)设置在同一条直线上，对样品做透射测量；

S4：调整起偏臂(1)和检偏臂(4)之间的夹角，对样品做反射测量；

S5：对样品进行旋转，改变入射角，测量透射或反射。

2.根据权利要求1所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：所述样品台(2)下方设置有底部旋转台(3)，所述样品台(2)包括由下至上依次设置的中间旋转台(21)和竖直旋转台(22)，所述中间旋转台(21)和底部旋转台(3)同轴设置，将样品放置在所述竖直旋转台(22)上。

3.根据权利要求2所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：所述检偏臂(4)固设在所述底部旋转台(3)上，所述检偏臂(4)与底部旋转台(3)之间设置有平移台(6)，所述检偏臂(4)在所述平移台(6)上移动。

4.根据权利要求3所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：步骤S3实施时，旋转所述竖直旋转台(22)使所述样品的快轴或慢轴水平，旋转中间旋转台(21)改变起偏臂(1)所发出的光束与样品之间的角度。

5.根据权利要求4所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：当对样品的入射角扫描时，操作检偏臂(4)在所述平移台(6)上移动。

6.根据权利要求4所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：所述平移台(6)的移动方向垂直于所述起偏臂(1)所发出光束的方向。

7.根据权利要求3所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：步骤S4实施时，旋转底部旋转台(3)，使起偏臂(1)所发出的光束方向与检偏臂(4)之间的夹角改变。

8.根据权利要求7所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：当对样品进行扫描时，先旋转中间旋转台(21)，再旋转底部旋转台(3)。

9.根据权利要求7所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：当对样品进行扫描时，先旋转中间旋转台(21)，再旋转底部旋转台(3)，再使检偏臂(4)在平移台(6)上平移。