[发明专利]一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法

说明书

本申请涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，涉及入射角扫描的技术领域，其包括以下步骤：S1：将样品放置在样品台上；S2：测量，寻找样品的快慢轴；S3：将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，将起偏臂和检偏臂设置在同一条直线上，对样品做透射测量；S4：调整起偏臂和检偏臂之间的夹角，对样品做反射测量；S5：对样品进行旋转，改变入射角，测量透射或反射。本申请具有该系统对不同厚度的样品既可做入射角扫描的透射也可做入射角扫描的反射的效果。

技术领域

本申请涉及入射角扫描的技术领域，尤其是涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法。

背景技术

相位延迟是由于光的相位在透过具有二相性或多向性的物质时发生偏转所产生的相位的延后作用。

相位延迟测量系统主要是对样品进行相位延迟测量，相位延迟测量系统包括起偏臂、检偏臂和样品台，样品台位于起偏臂和检偏臂之间，用于放置样品，起偏臂发射光束到样品上，检偏臂用于检测光束的偏振状态。传统的，起偏臂和检偏臂位于同一条直线上，因此只能对样品做透射测量，但是，当样品具有一定的厚度，且样品不垂直于起偏臂发出的光线放置时，透过样品的光线则会因为折射的原因而产生光线的偏移，从而造成入射光线和出射光线不在同一条直线上。

针对上述中的相关技术，发明人认为现有的相位延迟测量系统具有不能既做透射测量又做反射测量的缺陷。

发明内容

为了改善现有的相位延迟测量系统不能既做透射测量又做反射测量的技术问题，本申请提供一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法。

本申请提供的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法采用如下技术方案：

S1：将样品放置在样品台上；

S2：测量，寻找样品的快慢轴；

S3：将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，将起偏臂和检偏臂设置在同一条直线上，对样品做透射测量；

S4：调整起偏臂和检偏臂之间的夹角，对样品做反射测量；

S5：对样品进行旋转，改变入射角，测量透射或反射。

通过采用上述技术方案，先采用Mueller矩阵或单C旋转等不同方式对样品进行测量，得到样品快轴和慢轴所在的位置，当检偏臂与起偏臂位于同一条光线时，可以对样品进行透射测量；当通过调整样品台而使检偏臂与起偏臂之间产生夹角时，可以对样品进行反射测量，通过上述所说，该系统既能做透射也能做反射测量，节省操作时间，提高测量效率，还可以使用该系统寻找样品的快轴和慢轴，提高该系统的适用性。

可选的，所述样品台下方设置有底部旋转台，所述样品台包括由下至上依次设置的中间旋转台和竖直旋转台，所述中间旋转台和底部旋转台同轴设置，将样品放置在所述竖直旋转台上。

通过采用上述技术方案，中间旋转台和底部旋转台同轴设置，且竖直旋转台设置在中间旋转台背离底部旋转台的一侧，样品放置在竖直旋转台上，使得透射测量时入射角的变化可通过旋转中间旋转台来实现，反射测量时入射角的变化可通过旋转底部旋转台来实现。

可选的，所述检偏臂固设在所述底部旋转台上，所述检偏臂与底部旋转台之间设置有平移台，所述检偏臂在所述平移台上移动。

通过采用上述技术方案，平移台的设置使得检偏臂可通过平移来补偿入射角改变而造成的光线偏移。

可选的，步骤S3实施时，旋转所述竖直旋转台使所述样品的快轴或慢轴水平，旋转中间旋转台改变起偏臂所发出的光束与样品之间的角度。

通过采用上述技术方案，对样品做入射角的扫描。

可选的，当对样品的入射角扫描时，操作检偏臂在所述平移台上移动。