[发明专利]提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构在审
| 申请号： | 202210096472.6 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114414846A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;李博;赵明辉;齐永宏;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093;B81B7/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构，包括固定镜面、可动镜面和支承座，所述可动镜面包括MEMS弹簧质量结构和第二光学薄膜；所述MEMS弹簧质量结构包括双层支撑梁结构、MEMS质量块和固定框架，所述双层支撑梁结构呈全对称设置；所述第二光学薄膜设置于MEMS质量块上。本发明能明显的提高芯片面外扭转模态频率和面外振动模态频率的比值，可显著抑制非敏感轴方向加速度信号作用下MEMS质量块面外扭转造成的交叉灵敏度以及对传感器灵敏度和量程的影响，保证了法布里珀罗腔固定镜面和可动镜面的平行度，也解决了测量过程中模态相互干扰的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 法布里珀罗 mems 加速度 敏感 芯片 分离 结构 | ||
【主权项】：
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