[发明专利]一种基于正交信号消除的突起电极在审
| 申请号： | 202210090909.5 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114593721A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;孙斯佳 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C25/00 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于正交信号消除的突起电极，其特征在于：所述的基于正交信号消除的突起电极，包括突出部分，正交消除电极，刚性质量块，基底；其中：刚性质量块下面设有突出部分，基底上设有正交消除电极，突出部分与正交消除电极相对布置。本发明的优点：本发明所述的基于正交信号消除的突起电极，依靠凸起部分的厚度提高消除效率，减小占用面积。减少了与添加孔相关的质量分布变化，最大程度的减小了在给定传感器上实施解决方案所需要的设计改变。增加了创建具有特殊平滑形状轮廓的凸起的可能性，从而能够将正交力指定为驱动位移的任意函数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 正交 信号 消除 突起 电极 | ||
【主权项】：
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