[发明专利]测量装置、直列型蒸镀装置以及调整方法在审
| 申请号： | 202210090639.8 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114908328A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 中村谕;古木聪;须藤孝司;石川明;樽茶友昭 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高调整搬送装置相对于水平面的高度时的便利性的测量装置、直列型蒸镀装置以及调整方法。通过配置在真空腔室的内部的多个搬送装置在真空中进行搬送的测量装置具备：第1检测部件，检测测量装置相对于水平面的斜度；以及第2检测部件，检测测量装置相对于多个搬送装置的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 直列型蒸镀 以及 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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