[发明专利]烧结设备及其气氛可控的压力烧结机构在审
| 申请号： | 202210080776.3 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114608311A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 杨友志;邹贵生;戚国强;刘磊;刘元;王文淦;许建磊;王帅奇;潘兵;黄辰潇;吴永超;杜荣葆 | 申请（专利权）人： | 快克智能装备股份有限公司;清华大学 |
| 主分类号： | F27B5/05 | 分类号： | F27B5/05;F27B5/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 李楠 |
| 地址： | 213164 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及烧结设备技术领域，尤其是一种烧结设设备及其气氛可控的压力烧结机构，该气氛可控的压力烧结机构包括伸缩管、加压组件及加热组件，伸缩管至少存在一部分为能够弹性伸缩的波纹管段，伸缩管配置在两个加压组件之间，由于伸缩管具有能够弹性伸缩的波纹管段，故而伸缩管的弹性模量很低，对于小压力工作范围，伸缩管能够以较小的压力密封形成的烧结腔，同时在伸缩管能够弹性伸缩的特性影响下，伸缩管所受的压力远小于产品所受的压力，因此，可近似认为加压组件上的所有压力都施加在了产品上，从而只需测得加压组件的压力，便于获知加载在芯片上的压力，进而能够满足小压力工作范围的烧结键合，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结 设备 及其 气氛 可控 压力 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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