[发明专利]烧结设备及其气氛可控的压力烧结机构在审
申请号: | 202210080776.3 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN114608311A | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 杨友志;邹贵生;戚国强;刘磊;刘元;王文淦;许建磊;王帅奇;潘兵;黄辰潇;吴永超;杜荣葆 | 申请(专利权)人: | 快克智能装备股份有限公司;清华大学 |
主分类号: | F27B5/05 | 分类号: | F27B5/05;F27B5/06;H01L21/67 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 李楠 |
地址: | 213164 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 烧结 设备 及其 气氛 可控 压力 机构 | ||
1.一种气氛可控的压力烧结机构,其特征在于:包括:
伸缩管(1),至少存在一部分为能够弹性伸缩的波纹管段(102);
加压组件,具有两个,且彼此相对设置,伸缩管(1)配置在两个加压组件之间,两个所述加压组件用于在其相互靠拢时封堵住伸缩管(1)端部的管口使伸缩管(1)的内部形成密闭的烧结腔(4),并用于对烧结腔(4)内的产品(15)施加压力;
以及加热组件,用于对烧结腔(4)内的产品(15)进行加热。
2.根据权利要求1所述的气氛可控的压力烧结机构,其特征在于:所述伸缩管(1)的两端分别为固定端(101)和自由端(103),两个所述加压组件中的一者与伸缩管(1)的固定端(101)密封固定连接,以封堵住伸缩管(1)的固定端(101)的管口,另一者与伸缩管(1)的自由端(103)的管口相对设置。
3.根据权利要求2所述的气氛可控的压力烧结机构,其特征在于:两个所述加压组件分别为上加压组件(2)和下加压组件(3),上加压组件(2)位于下加压组件(3)的上方,所述伸缩管(1)的固定端(101)和上加压组件(2)固定连接,且彼此之间设置有密封圈(5)。
4.根据权利要求3所述的气氛可控的压力烧结机构,其特征在于:所述上加压组件(2)包括上压头(201),所述上压头(201)的下表面向下凸出有延伸部(2011),所述延伸部(2011)伸入至伸缩管(1)内;
所述加热组件包括上加热元件(6),所述上加热元件(6)安装在上压头(201)上。
5.根据权利要求4所述的气氛可控的压力烧结机构,其特征在于:所述上压头(201)的上表面向下开设有上加热腔(2012),所述上加热腔(2012)的底端位于延伸部(2011)中,所述上加热元件(6)安装在上加热腔(2012)的底端;
所述上加压组件(2)还包括位于上压头(201)上方的上压头基座(202),所述上压头基座(202)与上压头(201)固定连接,并封堵住上加热腔(2012)的上端开口,所述伸缩管(1)的固定端(101)与上压头基座(202)或上压头(201)固定连接。
6.根据权利要求3所述的气氛可控的压力烧结机构,其特征在于:所述下加压组件(3)包括下压头(301),所述下压头(301)中具有下加热腔(3011)及环绕于下加热腔(3011)外侧的隔热通气槽(3012),下加热腔(3011)的开口朝下,隔热通气槽(3012)的开口朝上,当伸缩管(1)形成烧结腔(4)时,所述隔热通气槽(3012)与烧结腔(4)连通;
所述下压头(301)的上表面或伸缩管(1)的自由端(103)端部开设有环形槽(3013),所述环形槽(3013)内嵌入有密封圈(5),所述隔热通气槽(3012)位于密封圈(5)的内侧;
所述加热组件包括下加热元件(7),所述下加热元件(7)配置在下加热腔(3011)内;
所述下压头(301)的外壁上设有进气口(3014)和出气口(3015),所述进气口(3014)和出气口(3015)均与隔热通气槽(3012)连通。
7.根据权利要求6所述的气氛可控的压力烧结机构,其特征在于:所述下压头(301)对应于下加热腔(3011)的上表面向上凸出有凸出部(3017),所述隔热通气槽(3012)位于凸出部(3017)的外侧。
8.根据权利要求6所述的气氛可控的压力烧结机构,其特征在于:所述隔热通气槽(3012)内设置有两个隔板(3016),并由两个隔板(3016)分隔形成进气槽(3012a)和出气槽(3012b),所述进气口(3014)和进气槽(3012a)连通,所述出气口(3015)和出气槽(3012b)连通。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于快克智能装备股份有限公司;清华大学,未经快克智能装备股份有限公司;清华大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210080776.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。