[发明专利]一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法在审
| 申请号： | 202210079677.3 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114540939A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 吴学军;马玉怀;马彦新 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法，包括第一支架，第一支架的一端表面固定连接有第二支架，第一支架的上端表面位于一端边缘处固定安装有承载座，承载座的上端表面设置有炉盖，炉盖的底端表面固定连接有炉体，本发明涉及半导体生长炉结构技术领域。本发明所述的一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法，通过设置的第一支架组件结构，可方便吊起炉盖结构，以方便使用者往炉体中添加固定半导体材料，同时可方便对炉体内部装置结构进行检修或清洗，通过设置的第二支架组件结构，可方便在装置使用过程中吊起连接绳查看和收集产物，通过设置的炉体结构，其保温效果良好，升温速度块，可提升半导体生长速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生长 调节 控制系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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