[发明专利]移载机构及具有其的机器手臂在审
| 申请号： | 202210074865.7 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114347060A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 龙洋;胡淼龙 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种移载机构及具有其的机器手臂，移载机构包括：承载本体；多个支撑结构，间隔设置于承载本体，支撑结构包括至少两个支撑件，支撑件包括支撑部和弹性件，弹性件的第一端与承载本体连接，弹性件的第二端与支撑部连接，支撑部远离弹性件的一端为支撑端。本发明的移载机构解决了现有技术中的晶圆在传送过程中容易出现滑片现象的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 机构 具有 机器 手臂 | ||
【主权项】：
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