[发明专利]一种镀膜用坩埚挡板在审
| 申请号： | 202210061824.4 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114481036A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 赵龙;姚浩强;李海涛;李兆营;张磊;梁靖 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 肖小龙 |
| 地址： | 239064 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜技术领域，公开一种镀膜用坩埚挡板，挡板由多块均分的子挡板拼合形成，每块所述子挡板上连接有驱动杆，所述驱动杆可带动子挡板移动且移动过程中不会与相邻子挡板发生干涉。由于整块挡板被均分成多块子挡板，在各子挡板同步移开的过程中，不会存在弧形面扫动空气、影响气态蒸发料流速的现象，保证了气态蒸发料上升速率的稳定性和同向性。各子挡板移开时直接将最中心的坩埚金属源暴露出来进行全方位无死角的同时镀膜，不会造成一侧已经镀膜，另一侧还未镀膜的状况，规避了传统镀膜过程中因挡板旋转造成的镀膜时间差，充分保证了镀膜一开始的均匀性，尤其对于比较薄的镀膜工艺的均匀性和稳定性都有很大的保障和提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 坩埚 挡板 | ||
【主权项】：
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