[发明专利]台阶高度标准样块、制备方法以及白光干涉仪校准方法在审
| 申请号： | 202210051175.X | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114543688A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张晓东;李锁印;韩志国;赵琳;许晓青;吴爱华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 张一 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种台阶高度标准样块、制备方法以及白光干涉仪校准方法。该台阶高度标准样块包括：底层和位于底层上的台阶层；台阶层的上表面具有凹槽，凹槽用于接收并反射目标白光干涉仪的光，且台阶层的材料为不透明材料。由于本发明提供的台阶高度标准样块中，通过具有凹槽的台阶层构成台阶结构，而不是通过两层材料构成台阶结构，且台阶层的材料为不透明材料，使得该台阶高度标准样块中的台阶结构在上下表面具有相同的折射率和消光系数，进而使得本发明提供的台阶高度标准样块不会影响照射到台阶结构上的光的强度，进而利用本发明提供的台阶高度标准样块对白光干涉仪校准，有利于降低白光干涉仪的校准误差，实现白光干涉仪的快速精准校准。 | ||
| 搜索关键词： | 台阶 高度 标准 制备 方法 以及 白光 干涉仪 校准 | ||
【主权项】：
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