[发明专利]提高汉虹95型单晶炉投炉量的方法及汉虹95型单晶炉在审
| 申请号： | 202210032474.9 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN116463722A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 李立峰;曹森;骆新龙;陈小龙;巴剑锋;石志强 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高汉虹95型单晶炉投炉量的方法及汉虹95型单晶炉，方法包括：将石墨坩埚的直壁高度增加至428mm，将石英坩埚的直壁高度增加至430mm，将石墨坩埚下限位下调30mm，将导流筒加长至412.5mm；将单晶棒开始拉制的速度设为0.68mm/h，每拉制300‑500mm，拉制速度下调4.5％‑7.4％。本发明能够在现有石墨热场尺寸下，提高汉虹95型单晶炉的投炉量，从而大大降低投入成本。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 95 型单晶炉投炉量 方法 型单晶炉 | ||
【主权项】：
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