[发明专利]一种ITO靶材废料的回收利用方法在审
| 申请号： | 202210029115.8 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114409380A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 刘文杰;文杰;钟小华;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/638;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 费雯 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种ITO靶材废料的回收利用方法，本发明主要是回收氧化铟含量90～95％的ITO废料，将ITO粉进行筛分，小于1mm的粉料和氧化铟进行球磨生产低含量二氧化锡的ITO靶材。该方法略去了将废料转化成金属铟，再生产成氧化铟的过程，大大降低了生产成本。本发明经过球磨生产低含量二氧化锡的ITO靶材，如97/3的ITO靶材，生产的97/3靶材相对密度可以达到99.7％，晶粒尺寸在10μm。本技术去除了回收粉末脱脂工序，直接乳化砂磨，缩短废料的回收工序，从而降低生产成本，提高了经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 废料 回收 利用 方法 | ||
【主权项】：
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