[发明专利]一种ITO靶材废料的回收利用方法

权利要求书

1.一种ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)筛分：收集粒径小于1mm的ITO靶材废料，粒径大于1mm的靶材废料进行破碎后再次过筛；

(2)将步骤(1)收集到的ITO粉料进行乳化砂磨，当ITO粉料的粒径D500.2μm且D900.5μm时，停止砂磨；

(3)将氧化铟粉料进行乳化砂磨，当氧化铟粉料的粒径D500.2μm且D900.5μm时，停止砂磨；

(4)将步骤(2)所得ITO浆料与步骤(3)所得氧化铟浆料混合砂磨，当混合浆料的粒径D500.2μm且D900.5μm时，加入粘结剂继续砂磨30～60min；

(5)将步骤(4)制得的混合浆料进行干燥，使混合浆料的水分含量为0.2～0.5％，得到ITO生坯；

(6)将ITO生坯进行冷等静压；

(7)将步骤(6)压制好的靶坯由150℃升至500℃进行脱脂烧结，升温过程中每升温100～150℃保温1～5h；脱脂烧结后，进行第一升温烧结，第一升温烧结是将温度由500℃升至1200℃进行烧结，升温过程中在温度升至900℃、1100℃、1200℃时各保温1～5h；第一升温烧结后，进行第二升温烧结，第二升温烧结是将温度由1200℃升至1600℃进行烧结，升温过程中每升温100～150℃保温1～10h；烧结过程中通入氧气，氧气流量为50～100L/min；

(8)保温结束后，降温至1350～1400℃，再升温至1550～1600℃，保温1～5h，得到ITO靶材。

2.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(2)中乳化砂磨过程中，加入分散剂和水，所述分散剂占ITO粉料重量的0.1～2％，所述水占ITO粉料重量的30～40％；所述分散剂为氨基醇类分散剂和氨水的混合物。

3.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(3)中乳化砂磨过程中，加入分散剂和水，所述分散剂占氧化铟粉料重量的0.5～2％，所述水占氧化铟粉料重量的20～40％；所述分散剂为氨基醇类分散剂和氨水的混合物。

4.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(4)中，加入的粘结剂为聚乙烯醇粘结剂，聚乙烯醇粘结剂的加入量为混合浆料重量的2～5％。

5.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(5)的干燥温度为200～250℃。

6.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(6)的压力为300～400MPa。

7.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(7)中，脱脂烧结的升温速率是0.2～0.5℃/min；第一升温烧结的升温速率是0.1～0.5℃/min；第二升温烧结的升温速率是0.1～0.3℃/min。

8.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(8)中，以0.5～1℃/min的降温速率降温至1350～1400℃；以0.1～0.5℃/min的升温速率升温至1550～1600℃。

9.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(8)中得到的ITO靶材的相对密度大于99.7％，纯度大于99.99％。

10.根据权利要求1所述ITO靶材废料的回收利用方法，其特征在于，所述步骤(8)中得到的ITO靶材中In₂O₃/SnO₂质量比为97/3。