[发明专利]具有主动衬底偏置的双向开关

摘要

本申请涉及具有主动衬底偏置的双向开关，揭示用于双向开关的结构及形成这样结构的方法。衬底接触件形成在衬底中所定义的沟槽中。衬底包含沟槽以及沟槽中的衬底接触件。在衬底上的双向开关包含第一源极/漏极电极、第二源极/漏极电极、第一源极/漏极电极与第二源极/漏极电极间的延伸区、及栅极结构。在衬底上的衬底偏置开关包含栅极结构、耦接到第一衬底接触件的第一源极/漏极电极、耦接到双向开关的第一源极/漏极电极的第二源极/漏极电极、及横向地位于栅极结构与第一源极/漏极区间的延伸区。