[发明专利]用于具有分段靶构造的磁控管的系统和方法在审
| 申请号： | 202180052226.4 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN115989557A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 马克-安德鲁·拉里维埃;胡安·里奥斯雷耶斯;尼汀·乔德哈瑞;李超;布伦丹·V·特朗格;克里斯蒂安·K·福吉;迈克尔·S·科雷拉 | 申请（专利权）人： | OEM集团有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李金刚;梁晓广 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁控管系统，该磁控管系统包括基板组件，该基板组件限定壳体部分和电力馈通。磁体组件和分段靶组件被布置在壳体部分内。分段靶组件具有内部靶段，该内部靶段具有多个靶砖。多个电接触件与电力馈通电气连通，其中，所述多个电接触件中的各电接触件电接触所述多个靶砖中的相应的靶砖，使得电力从所述多个电接触件中的各电接触件输送到所述多个靶砖中的各相应的靶砖。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 具有 分段 构造 磁控管 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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