[发明专利]场效应管及其制造方法在审
| 申请号： | 202180004267.6 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN114127949A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 袁晓龙;沈健;姚国峰;柳玉平 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京合智同创知识产权代理有限公司 11545 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 518045 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种场效应管及其制造方法。所述场效应管包括：基板，设置有源极和漏极，所述源极与所述漏极之间形成载流子传输沟道，其中，所述载流子传输沟道在所述基板的表面处形成具有至少一个沟槽的沟道表面；栅极电介质层，覆盖于所述具有至少一个沟槽的沟道表面；栅极，设置于所述栅极电介质层之上，其中，所述栅极和所述栅极电介质层被栅极侧墙包围，所述至少一个沟槽的延伸范围超过所述栅极的覆盖区域，所述至少一个沟槽的延伸范围不超过所述栅极侧墙的覆盖区域。在本发明实施例的方案中，在保证器件特性需求的情况下，减小了场效应管的器件版图面积。 | ||
| 搜索关键词： | 场效应 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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