[发明专利]具有可移动插入件的等离子体剥离工具在审
| 申请号： | 202180003888.2 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN114521284A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 龙茂林;张其群 | 申请（专利权）人： | 北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 武晨燕 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种用于处理工件的等离子体处理设备。在一个示例性实施例中，用于处理工件的等离子体处理设备包括处理腔室、与处理腔室分开的等离子体腔室、以及配置为在等离子体腔室中生成等离子体的感应耦合等离子体源。该设备包括设置在处理腔室内的基座，该基座配置为支撑工件。该设备包括设置在等离子体腔室中的插入件，该插入件可移动到等离子体腔室内的一个或多个竖直位置。本公开还提供了用于处理工件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 插入 等离子体 剥离 工具 | ||
【主权项】：
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