[发明专利]三维集成结构及其形成方法在审

专利信息
申请号: 202180003166.7 申请日: 2021-09-02
公开(公告)号: CN113906563A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 胡思平 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L27/11524 分类号: H01L27/11524;H01L27/11551;H01L27/1157;H01L27/11578;H01L21/768
代理公司: 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 代理人: 林锦辉;刘景峰
地址: 430074 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 提供了一种半导体装置。所述半导体装置包括具有第一侧的第一衬底层,装置形成在该第一侧之上。在半导体装置中,第一电介质结构形成在第一衬底层的其中定位所述装置的第一侧之上。第一电介质结构包括与第一衬底层的第一侧接触的底表面。第一电介质结构的底表面的一部分不被第一衬底层覆盖。半导体装置还包括第一电子结构,其定位在第一电介质结构的底表面的未被覆盖的部分之上,使得第一电子结构和第一衬底层定位在第一电介质结构的底表面的同一侧。第一电子结构键合到第一电介质结构。
搜索关键词: 三维 集成 结构 及其 形成 方法
【主权项】:
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