[实用新型]适用于异质结电池非晶硅沉积的载板

摘要

本实用新型公开了一种适用于异质结电池非晶硅沉积的载板，属于太阳能电池制造设备技术领域。其解决了现有技术中PECVD用载板不方便搬运、加工和经常会覆盖尘土的缺陷。其主要包括机架，还包括载板本体，所述载板本体上开设多个硅片卡槽，所述载板本体包括第一子载板和第二子载板，所述第一子载板通过铰链与第二子载板铰接，第一子载板上分别开设第一横向凹槽和第一竖向凹槽，第二子载板上分别开设与第一横向凹槽配合的第二横向凹槽和与第一竖向凹槽配合的第二竖向凹槽，第一横向凹槽和第二横向凹槽分别与第一固定板通过螺栓固定，第一竖向凹槽和第二竖向凹槽分别与第二固定板通过螺栓固定。