[实用新型]IC固晶机摆臂吸晶系统和晶圆搬运装置有效
| 申请号： | 202123053995.2 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN216354135U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 曹国光;曹皇东;薛大利;王昂 | 申请（专利权）人： | 东莞市华越自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 广东恩典律师事务所 44549 | 代理人： | 张绍波 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种IC固晶机摆臂吸晶系统和晶圆搬运装置，基座和设置在基座上的摆臂和DD马达电机模组，摆臂包括第一摆臂和第二摆臂，第一摆臂和第二摆臂的前端分别设置有第一吸嘴和第二吸嘴，DD马达电机模组包括旋转模组和摆臂模组，摆臂模组包括第一摆臂模组和第二摆臂模组，第一摆臂模组由第一音圈电机驱动第一摆臂上下移动，第二摆臂模组第二音圈电机驱动第二摆臂上下移动。本实用新型提供的IC固晶机摆臂吸晶系统和晶圆搬运装置，通过第一摆臂和第二摆臂的双摆臂实现两个摆臂由两个独立的音圈电机驱动，独立下压吸嘴吸附晶圆操作，并通过DD马达电机模组实现两组吸晶摆臂交替式换位，交替吸晶，吸晶与固晶同时进行作业，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | ic 固晶机摆臂吸 晶系 搬运 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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