[实用新型]IC固晶机摆臂吸晶系统和晶圆搬运装置

权利要求书

1.一种IC固晶机摆臂吸晶系统，其特征在于，包括基座和设置在所述基座上的摆臂和电机模组，所述摆臂包括第一摆臂和第二摆臂，所述第一摆臂的前端设置有第一吸嘴，所述第二摆臂的前端设置有第二吸嘴，所述电机模组包括旋转模组和摆臂模组，所述摆臂设置在所述旋转模组上由所述旋转模组驱动旋转，所述摆臂模组包括第一摆臂模组和第二摆臂模组，所述第一摆臂模组驱动所述第一摆臂上下移动，所述第二摆臂模组驱动所述第二摆臂上下移动。

2.根据权利要求1所述的IC固晶机摆臂吸晶系统，其特征在于，所述第一摆臂和所述第二摆臂水平对称安装。

3.根据权利要求1或2所述的IC固晶机摆臂吸晶系统，其特征在于，所述基座上设置有原点挡片，所述原点挡片用于阻挡所述摆臂。

4.根据权利要求1或2所述的IC固晶机摆臂吸晶系统，其特征在于，所述基座上还设置有原点光电器件，所述原点光电器件用于感应所述摆臂的移动。

5.根据权利要求1或2所述的IC固晶机摆臂吸晶系统，其特征在于，所述摆臂包括摆臂动子、摆臂定子和摆臂动子连接件，所述摆臂动子设置在所述摆臂定子的轨道上，所述摆臂定子设置在所述基座上，驱动所述摆臂动子在所述摆臂定子的轨道上移动带动所述摆臂连接件上下移动。

6.根据权利要求1或2所述的IC固晶机摆臂吸晶系统，其特征在于，所述摆臂采用音圈电机驱动。

7.根据权利要求1或2所述的IC固晶机摆臂吸晶系统，其特征在于，所述摆臂还包括第三摆臂，所述第三摆臂的前端设置有第三吸嘴，所述摆臂模组包括第三摆臂模组，所述第三摆臂模组驱动所述第三摆臂上下移动。

8.根据权利要求1或2所述的IC固晶机摆臂吸晶系统，其特征在于，所述第一摆臂、所述第二摆臂和第三摆臂分别呈120度夹角设置。

9.一种晶圆搬运装置，其特征在于，包括承载台和如权利要求1至8中任意一项所述的IC固晶机摆臂吸晶系统，所述IC固晶机摆臂吸晶系统吸附晶圆搬运到所述承载台上。