[实用新型]一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置

摘要

本实用新型涉及一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置，包括箱体，所述箱体底部固定安装有支腿，所述箱体的外表面固定安装有控制器，所述箱体的左侧外表面固定安装有散热结构；所述散热结构包括位于箱体左侧外表面的通风口，所述箱体的内顶壁固定安装有电机。该PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置，通过设置温度检测器，通过设定温度检测器检测箱体内部的温度高度和检测温度低度，通过设置控制器可以控制和驱动电机和冷却机的工作，当温度检测器检测到箱体内的温度高度高于设定检测温度时，温度检测器将信号传输至控制器，控制器控制冷却机和抽气机工作，冷却机工作制冷，对箱体内腔温度进行降温，抽气机将箱体外部的空气吸入箱体的内部。