[实用新型]一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置

说明书

本实用新型涉及一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置，包括箱体，所述箱体底部固定安装有支腿，所述箱体的外表面固定安装有控制器，所述箱体的左侧外表面固定安装有散热结构；所述散热结构包括位于箱体左侧外表面的通风口，所述箱体的内顶壁固定安装有电机。该PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置，通过设置温度检测器，通过设定温度检测器检测箱体内部的温度高度和检测温度低度，通过设置控制器可以控制和驱动电机和冷却机的工作，当温度检测器检测到箱体内的温度高度高于设定检测温度时，温度检测器将信号传输至控制器，控制器控制冷却机和抽气机工作，冷却机工作制冷，对箱体内腔温度进行降温，抽气机将箱体外部的空气吸入箱体的内部。

技术领域

本实用新型涉及射频技术领域，具体为一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置。

背景技术

射频，表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300kHz～300GHz之间，射频就是射频电流，简称RF，它是一种高频交流变化电磁波的简称，每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。

现有市场上的射频装置种类繁多，虽然都可以达到基本需求，但是大部分射频装置在长时间使用的过程中，内部零件容易发热，从而导致零件损伤，为了解决以上问题，故而，提出了一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置，具备散热效果好等优点，解决了射频装置不具备散热的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置，包括箱体，所述箱体底部固定安装有支腿，所述箱体的外表面固定安装有控制器，所述箱体的左侧外表面固定安装有散热结构；所述散热结构包括位于箱体左侧外表面的通风口，所述箱体的内顶壁固定安装有电机，所述箱体的内部固定安装有横杆，所述箱体的内底壁固定安装有冷却机，所述箱体的内底壁固定安装有集尘框，所述箱体的右侧内壁固定安装有通风管，所述通风管的外表面固定安装有抽气机，所述通风管的底部固定安装有数量为五个的喷气头，所述箱体的内部固定安装有过滤杆，所述电机的输出轴处固定安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹套，所述横杆的顶部固定安装有限位杆，所述螺纹套的外表面固定安装有毛刷，所述冷却机的顶部固定安装有贯穿横杆的输出管。

进一步，所述箱体的外表面固定安装有显示屏，所述箱体的外表面固定安装有智能仪表。

进一步，所述箱体的右侧内壁固定安装有温度检测器，所述横杆的内部开设有通孔，且通孔位于毛刷的正下方。

进一步，所述限位杆的内部开设有与毛刷外表面相适配的滑槽，所述毛刷的外表面与过滤杆的外表面相贴合。

进一步，所述集尘框为L形，所述通风管的左侧外表面与过滤杆的右侧外表面相连接。

进一步，所述横杆的中心点和箱体的中心点均在同一条竖直线上，所述横杆的顶部固定安装有位于喷气头正下方的射频装置本体。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：