[实用新型]化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开一种化学气相沉积装置，包括扩散器、上电极、绝缘垫片和连接件，其中，扩散器具有安装翻边，安装翻边上开设有第一安装孔，上电极对应第一安装孔的位置开设有第二安装孔，绝缘垫片夹设于扩散器的安装翻边和上电极之间，且绝缘垫片上正对第一安装孔和第二安装孔的位置开设有避让孔，以使连接件在连接扩散器和上电极时，能够穿过避让孔，使绝缘垫片夹设于安装翻边与上电极之间。通过绝缘垫片的设置避免了扩散器和上电极直接接触，防止扩散器热膨胀后，扩散器和上电极发生相对位移，保证扩散器与上电极之间不会产生研磨异物，提高了镀膜质量。