[实用新型]面板镀膜设备

摘要

本实用新型公开一种面板镀膜设备，包括反应室，反应室内设置有保护板，保护板的表面设置有绝缘层，保护板通过悬挂机构悬挂在内侧壁上，保护板的安装侧面与内侧壁贴合，悬挂机构包括凸块和与凸块插接配合的挂槽，内侧壁和安装侧面两者中的一者设置有凸块，内侧壁和安装侧面两者中的另一者凹陷设置有挂槽。通过设置配合使用的凸块和挂槽，可以避免在保护板上设置通孔结构，使得保护板可以完全遮罩反应室的内侧壁，从而避免内侧壁被化学物质侵蚀；通过设置贴合的安装侧面和内侧壁，可以避免保护板和内侧壁之间形成缝隙，避免化学物质从缝隙位置侵蚀内侧壁，提高保护板对反应室内侧壁的保护效果，提高面板镀膜设备的使用寿命。