[实用新型]面板镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202122807535.8 申请日: 2021-11-15
公开(公告)号: CN216250651U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 龙梅丽 申请(专利权)人: 乐金显示光电科技(中国)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 黄建祥
地址: 510530 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 面板 镀膜 设备
【说明书】:

实用新型公开一种面板镀膜设备,包括反应室,反应室内设置有保护板,保护板的表面设置有绝缘层,保护板通过悬挂机构悬挂在内侧壁上,保护板的安装侧面与内侧壁贴合,悬挂机构包括凸块和与凸块插接配合的挂槽,内侧壁和安装侧面两者中的一者设置有凸块,内侧壁和安装侧面两者中的另一者凹陷设置有挂槽。通过设置配合使用的凸块和挂槽,可以避免在保护板上设置通孔结构,使得保护板可以完全遮罩反应室的内侧壁,从而避免内侧壁被化学物质侵蚀;通过设置贴合的安装侧面和内侧壁,可以避免保护板和内侧壁之间形成缝隙,避免化学物质从缝隙位置侵蚀内侧壁,提高保护板对反应室内侧壁的保护效果,提高面板镀膜设备的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及显示面板加工设备领域,尤其涉及一种面板镀膜设备。

背景技术

显示设备的显示面板在加工时,需要使用面板镀膜设备对显示面板(以下简称面板)进行镀膜处理。参照图1和图2,面板镀膜设备包括反应室1',反应室1'内设置有金属材质的上部电极板4'和下部电极板5',待镀膜的面板放置在上部电极板4'和下部电极板5'之间,上部电极板4'和下部电极板5'通电后,反应室1'内会进行一系列的化学反应,从而使物质沉积在面板的表面形成膜层。反应室1'内侧壁11'的材质也为金属,反应室1'内设置有保护板2',保护板2'的表面设置有绝缘层21',反应室1'的内侧壁11'设置有U型的挂钩3',保护板2'上设置有和挂钩3'配合的通孔22',保护板2'绝缘层21'可以避免反应室1'内侧壁11'参与镀膜时的化学反应,从而避免反应室1'内侧壁11'被蚀刻。

现有技术存在以下问题:保护板2'上通孔22'和挂钩3'之间的缝隙容易使内侧壁11'外露,导致内侧壁11在镀膜期间被侵蚀,降低面板镀膜设备的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于:提供一种面板镀膜设备,其使用寿命较长。

为达上述目的,本实用新型采用以下技术方案:

提供一种面板镀膜设备,包括反应室,所述反应室的内侧壁为金属材质,所述反应室内设置有保护板,所述保护板的表面设置有绝缘层,所述保护板通过悬挂机构悬挂在所述内侧壁上,所述保护板具有安装侧面,所述安装侧面与所述内侧壁贴合,所述悬挂机构包括凸块和与所述凸块插接配合的挂槽,所述内侧壁和所述安装侧面两者中的一者设置有所述凸块,所述内侧壁和所述安装侧面两者中的另一者凹陷设置有所述挂槽。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述凸块设置在所述内侧壁,所述挂槽设置在所述安装侧面,所述凸块的上表面为第一斜面,所述第一斜面和所述内侧壁与所述安装侧面的贴合面的夹角呈锐角。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述挂槽的上槽壁为第二斜面,所述第二斜面和所述第一斜面贴合。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述凸块和所述内侧壁可拆卸连接。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述凸块设置有第一通孔,所述内侧壁设置有螺纹孔,螺钉穿过所述第一通孔旋拧入所述螺纹孔内。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述凸块具有相对的第一侧面和第二侧面,所述第一斜面的一端通过第一过渡面和所述第一侧面连接,所述第一斜面的另一端通过第二过渡面和所述第二侧面连接。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述挂槽的尺寸大于所述凸块的尺寸。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述内侧壁设置有定位柱,所述保护板上设置有定位孔,所述定位柱插入所述定位孔内。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述反应室设置有开口,面板从所述开口进入或离开所述反应室,所述保护板设置有供所述面板穿过的第二通孔。

作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述挂槽和所述第二通孔连通。

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