[实用新型]用于异质结电池的镀膜设备有效
| 申请号： | 202122599768.3 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN216473458U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 姚铮;崔巍;吴坚;蒋方丹 | 申请（专利权）人： | 嘉兴阿特斯技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;H01L31/20;H01L31/072 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 韩晓园 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市秀*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于异质结电池的镀膜设备,其中，包括形成有反应腔的壳体、设于反应腔内用于承载并输送半成品电池的输送单元、用于承载靶材的靶材承载件，所述反应腔包括依次排列且连通的第一反应腔、第二反应腔，所述输送单元贯穿第一反应腔和第二反应腔，并且在第一反应腔内，靶材承载件位于所述输送单元的下方，在第二反应腔内，所述靶材承载件位于所述输送单元的上方。通过上述的镀膜设备，实现不同透明导电层的制备顺序，进而确保掺杂非晶硅层的质量，同时，两层膜在不同反应腔内形成，可以根据需求制备不同性能的透明导电层，进而优化透明导电层的制备工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 异质结 电池 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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