[实用新型]一种多功能晶圆裂片机

摘要

本实用新型公开了一种多功能晶圆裂片机，包括工作台和辅助机构，两个滑块相对的一侧均固定连接有固定块，两个固定块之间设置有辊压机构，辅助机构设有两组，辅助机构由橡胶刮板、两个连接块和弹簧组成，两个固定块相对的一侧均开设有第一滑槽，两个连接块分别滑动连接于两个第一滑槽的内壁，两个弹簧分别设置于两个第一滑槽的内部。本实用新型利用橡胶刮板、连接块和弹簧的设置，通过弹簧的弹性作用，使得弹簧一直挤压连接块，连接块将这个挤压力作用到橡胶刮板上，使得橡胶刮板一直挤压这胶辊的外壁，从而使得晶圆在附着到胶辊上还没转动半圈便被橡胶刮板刮下，避免晶圆继续转动受到损坏，提高了胶辊对晶圆的分离质量。