[实用新型]一种多功能晶圆裂片机

说明书

本实用新型公开了一种多功能晶圆裂片机，包括工作台和辅助机构，两个滑块相对的一侧均固定连接有固定块，两个固定块之间设置有辊压机构，辅助机构设有两组，辅助机构由橡胶刮板、两个连接块和弹簧组成，两个固定块相对的一侧均开设有第一滑槽，两个连接块分别滑动连接于两个第一滑槽的内壁，两个弹簧分别设置于两个第一滑槽的内部。本实用新型利用橡胶刮板、连接块和弹簧的设置，通过弹簧的弹性作用，使得弹簧一直挤压连接块，连接块将这个挤压力作用到橡胶刮板上，使得橡胶刮板一直挤压这胶辊的外壁，从而使得晶圆在附着到胶辊上还没转动半圈便被橡胶刮板刮下，避免晶圆继续转动受到损坏，提高了胶辊对晶圆的分离质量。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工领域，特别涉及一种多功能晶圆裂片机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，晶圆在加工过程中需要使用裂片机对其进行裂片加工。

裂片机是通过激光切割将晶圆进行切割，再通过胶辊碾压的方式将激光切割后的晶圆分离开，在胶辊碾压的过程中，胶辊在碾压晶圆的过程中会出现晶圆附着在胶辊的现象，随着胶辊转动导致附着的晶圆出现损坏的现象，降低了胶辊对晶圆的分离质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多功能晶圆裂片机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多功能晶圆裂片机，包括：

工作台，所述工作台的顶端设置有台盘，所述工作台顶端的两侧均滑动设置有滑块，两个所述滑块相对的一侧均固定连接有固定块，两个所述固定块之间设置有辊压机构；

辅助机构，所述辅助机构设有两组，所述辅助机构由橡胶刮板、两个连接块和弹簧组成，所述橡胶刮板设置于两个固定块之间，两个所述连接块分别固定连接于橡胶刮板的两侧，两个所述固定块相对的一侧均开设有第一滑槽，两个所述连接块分别滑动连接于两个第一滑槽的内壁，两个所述弹簧分别设置于两个第一滑槽的内部。

优选的，所述弹簧的一端与连接块的正面固定连接，所述弹簧的另一端与第一滑槽的内壁固定连接。

优选的，所述辊压机构包括胶辊，两个所述固定块相对的一侧均固定连接有固定轴，所述胶辊转动连接于两个固定轴之间，所述橡胶刮板的边侧与胶辊的外壁贴合设置。

优选的，所述第一滑槽内壁的顶端和底端均开设有第一限位槽，所述连接块的顶端和底端均固定连接有第一限位块，两个第一限位块的外壁分别与两个第一限位槽的内壁滑动连接。

优选的，所述工作台的顶端固定连接有两个固定条，两个所述滑块的底端均开设有第二滑槽，两个所述固定条的外壁分别与两个第二滑槽的内壁滑动连接，所述第二滑槽内壁的一侧固定连接有第二限位块，所述固定条的一侧开设有第二限位槽，所述第二限位块的外壁与第二限位槽的内壁滑动连接。

优选的，所述第二滑槽的内壁对称转动连接有两个转轴，两个所述转轴之间设置有滚轮，所述滚轮的外壁与固定条的顶端贴合设置。

本实用新型的技术效果和优点：

(1)本实用新型利用橡胶刮板、连接块和弹簧的设置，通过弹簧的弹性作用，使得弹簧一直挤压连接块，连接块将这个挤压力作用到橡胶刮板上，使得橡胶刮板一直挤压这胶辊的外壁，从而使得晶圆在附着到胶辊上还没转动半圈便被橡胶刮板刮下，避免晶圆继续转动受到损坏，提高了胶辊对晶圆的分离质量；

(2)本实用新型利用第一限位槽和第一限位块的设置，通过第一限位槽对第一限位块进行限位，使得连接块可以一直稳定的第一滑槽内滑动，避免连接块与第一滑槽分离，同时避免连接块出现转动的现象，即可有效的使得橡胶刮板一直贴合这胶辊的外壁，提高橡胶刮板使用的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。